摘要： 以空间用三结砷化镓（GaAs）电池外延表面抛光为研究对象，对抛光压力、抛光转速、抛光液pH等参数进行试验研究。研究结果表明：选用抛光压力40 g/cm3，采用55 r/min的转速，有效氯含量为5%的抛光液，对三结砷化镓太阳能电池外延表面有良好的抛光效果，可得到良好的表面颗粒度，即表面粗糙度小于0.4 nm、颗粒粒径大于0.2μm（含0.2/μm）的数量低于50个，颗粒粒径小于0.2μm的数量低于100个的外延片表面，为键合技术用于三结砷化镓太阳能电池的批量生产提供了可能。
中图分类号:
李穆朗. 三结砷化镓太阳能电池外延层表面抛光技术研究[J]. 天津科技, 2024, 51(02): 33-36.
